기계 설계 연구자의 주식 및 취미 생활

▼진공 펌프 진공 펌프는 공기를 흡입하고 흡입한 공기를 빠르게 배출하여 진공 상태를 유지하는 기기입니다. 반도체 공장 라인에서는 다양한 종류의 진공 펌프가 사용됩니다. 이번 글에서는 대표적인 진공 펌프들과 그 사용 목적에 대해 알아보도록 하겠습니다. 로터리 베인 진공 펌프 (Rotary Vane Vacuum Pump) 로터리 베인 진공 펌프는 일반적으로 가장 많이 사용되는 진공 펌프 중 하나입니다. 이 펌프는 회전하는 판과 실린더를 사용하여 진공을 생성합니다. 공기를 흡입하여 실린더 내부의 작동 부품을 회전시키면서 진공을 유지하는 원리입니다. 반도체 공장 라인에서는 이 펌프를 주로 사용하여 공기를 제거하고 진공 상태를 유지합니다. 터보 분자 진공 펌프 (Turbo Molecular Vacuum Pump)..

1. 서론 ● 반도체의 간략한 개요와 생산에서 진공의 역할 반도체는 특정 조건에서 전기를 전도할 수 있는 소재로 컴퓨터, 스마트폰, TV 등 전자기기에 필수적인 부품이다. 이들은 일반적으로 실리콘이나 게르마늄과 같은 물질로 만들어지며, "반도체 제조"라고 불리는 과정을 통해 생산된다. 반도체 제조의 한 가지 중요한 측면은 생산 중에 깨끗하고 통제된 환경을 유지할 필요성이다. 여기가 진공이 들어오는 곳입니다. 진공 청소기는 생산 환경에서 공기와 기타 가스를 제거함으로써 오염을 방지하고 반도체가 고품질이고 결함이 없도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 공기와 다른 가스들을 제거하는 것 외에도, 진공은 또한 반도체의 표면에 얇은 물질막을 증착하는 데 사용된다. 이것은 "물리적 기상 증착"이라고 불리는 과정을 통해..